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Tel: 0351 463 35468 Fax: 0351 463 37172 regine.pfennig@tu-dresden.de http://tu-dresden.de/die_tu_dresden/fakultaeten/fakultaet_elektrotechnik_und_informationstechnik/ihmAnsprechpartner
Wolf-Joachim FischerHubert Lakner
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Seit Mitte der 1980er Jahre werden in stark wachsendem Maße Technologien aus der Mikroelektronik eingesetzt, um Miniatur-Bauteile zu erzeugen, die neben einer elektrischen auch eine mechanische, thermische, akustische oder optische Funktion erfüllen. Dieser Bereich, der als Mikrosystemtechnik bezeichnet wird, ist daher mit der Halbleitertechnik eng verknüpft. Speziell der Bereich der optoelektronischen Bauelemente und Systeme hat eine große Bedeutung in der Anwendung erlangt.
Spätestens seit Einführung der sogenannten äquivalenten Skalierung in der Mikro- und Nanoelektronik kommt den verwendeten Materialien eine besondere Bedeutung zu. Der Einsatz dieser nanoelektronischen Materialien geht aber auch über die Mikro- und Nanoelektronik hinaus.