FHR Anlagenbau GmbH

Angebot

Das 1991 gegründete Unternehmen ist ein führender Anbieter von Dünnschichtprozessen und relevanten Ausrüstungen für die Herstellung elektronischer Bauelemente, für die Optik und anderen Hochtechnologieanwendungen.

Das Produktspektrum umfasst heute Cluster-Tools, In-line und Folienbeschichtungsanlagen sowie unikate Systeme für Forschung und Entwicklung zum Beschichten und Ätzen. FHR Anlagenbau GmbH bietet sowohl Standardprozesse für PVD und CVD als auch kundenspezifische Lösungen für vielfältige Anwendungsfelder an. FHR hat weltmarkführende Hersteller mit kompletten Fertigungslinien ausgerüstet und strategische Kooperationen zur Weiterentwicklung von Schichttechnologien.

FHR ist ein führender Technologieanbieter für reaktive Sputtertechnologien zum Hochratebeschichten von Oxiden und Nitriden auf Wafer und auf großflächigen Substraten für Anwendungen in der Elektronik und Optik.

Aktuelle Innovationen im Dünnschichtbereich beinhalten eine magnetfeldunterstützte induktiv gekoppelte Plasmaquelle ( MAPE-ICP Plasma Source )(EU Patent). Diese Quelle mit extrem hoher Plasmadichte kann sowohl in Cluster-Anlagen als auch großflächig in In-Line Anlagen zum Ätzen und für PECVD zur Anwendung kommen. Weitere Innovationen für ultradünne Schichten sind die Filterbogenbeschichtung (Filtered-ARC-Deposition Technology) sowie eine ultraschnelle RTP-Technologie mit Blitzlampenanregung (Flash Lamp Annealing RTP).

Ein weiteres Geschäftsfeld ist die Herstellung von Sputtertargets für alle Applikationen. FHR bietet ferner Targetbonden sowie Lohnbeschichtungen als Dienstleistung an.

Geschäftsfelder:
* Halbleiter
* Equipment

Kernkompetenz:
* Zulieferung
* Equipment

Spezialisierung:
* Vakuumtechnik
* Beschichten, Strukturieren u. Modifizieren von Oberflächen
* Plasma- u. Ionenstrahltechnologien
* Metallisierung
* Prozess-Equipment


Die FHR Anlagenbau GmbH ist auf die Entwicklung innovativer Dünnschichttechnologien sowie das Konstruieren und Bauen kundenspezifischer Vakuumbeschichtungsanlagen spezialisiert. Durch Nutzung von Bedampfungs-, Sputter-, CVD- und ALD-Technologien lassen sich für die Energiespeichertechnik elektrisch leitfähige oder isolierende Schichten, Elektrolytschichten, Barriereschichten und andere funktionale Schichten abscheiden.
Unsere Inline- und Rolle-zu-Rolle-Beschichtungsanlagen ermöglichen unseren Kunden, diese funktionalen Schichten über große Flächen und mit hohen Raten auf rigiden Oberflächen oder flexiblen Substraten wie Polymer- oder Metallfolien abzuscheiden.
Anwendungen: Dünnschichtbatterien, Folienkondensatoren, Brennstoffzellen

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