Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM), TU Chemnitz

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Anschrift

Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz

Kontakt

Tel: 0371 531 24060 Fax: 0371 531 24069 www.zfm.tu-chemnitz.de

Ansprechpartner

Prof. Dr. Karla Hiller
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
Tel: 0371 531 33276 Fax: 0371 531 833276

Angebot

Das ZfM zählt schon seit einiger Zeit zu den am besten ausgestatteten Universitätslaboren und bietet beste Voraussetzungen für Forschung und Entwicklung im Bereich von Metallisierungssytemen für höchstintegrierte Schaltkreise und auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik.

Zum Beispiel stehen neben einer kompletten Silizium-Präparationslinie und dem Equipment für die Maskenherstellung auch professionelle Hard- und Software für Simulation & Design sowie hochwertige Analyse- und Messtechnik zur Verfügung. Folgende Technologien und Prozesse werden angewendet:

· Thermische Oxidation

· Dotierung (P - Diffusion)

· Schichtabscheidung CVD und PVD

· Optische Lithografie: Kontakt-, Abstands-, Doppelseitenbelichtung

· Elektronenstrahllithografie

· Nass- und Trockenätzen

· Waferbonden

· Maskenfertigung 3“ bis 7"

·
Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP)

Geschäftsfelder: Automobilindustrie, Halbleiter, Elektronik, Kommunikation, Medizin, Luft- und Raumfahrt
Kernkompetenz: Forschung und Bildung, Hochschule
Spezialisierung: MEMS

Region:
früher: Direktionsbezirk Chemnitz

Landkreis:
Chemnitz, Stadt

Rechtsform:
Öffentl.-rechtl. Unternehmen

Netzwerk:
Kompetenzzentrum Nanotechnolgie - www.nanotechnology.de
Silicon Saxony - Mikroelektronik - www.silicon-saxony.de

Beschäftigte:
100 - 500

Branchen

261
Herstellung von elektronischen Bauelementen und Leiterplatten
72
Forschung und Entwicklung
85421
Universitäten

Sächsische Technologiebereiche

Automobilindustrie - alle
Automobilindustrie - Organisationen, Verbände, Öffentliche Institutionen
Automobilindustrie - Zulieferindustrie - Forschung und Bildung
Energie - alle
Energie - Forschung und Bildung
Energie - Photovoltaik - alle
Energie - Solarthermie - alle
Maschinenbau - alle
Maschinenbau - Feinwerktechnik und Präzisionsmechanik
Maschinenbau - Forschung/Entwicklung und Bildung
Medizintechnik - alle
Mikroelektronik - alle
Mikroelektronik - Forschung und Bildung
Nanotechnologie - alle
Nanotechnologie - Forschung und Bildung
Letzte Änderung: 17.08.2023 Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH (WFS)

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