TU Dresden Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)

Angebot

Das Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wurde im Jahre 1990 an der Fakultät Elektrotechnik der Technischen Universität gegründet. Es vereinigt fünf Professuren, die Lehr- und Forschungsaufgaben in den Feldern Halbleiter-technik, Mikrosystemtechnik, Optoelektronische Bauelemente und Systeme, Polymere Mikrosysteme und Nanoelektronische Materialien wahrnehmen. Schwerpunkte liegen hier bei dem sog. Back-End-of-Line, bei modernen Beschichtungstechnologien für ultradünne funktionale Schichten, Beschichtungs-technologien auch für die Photovoltaik, der funktionalen Charakterisierung von Werkstoffen und Bauelementen, einschließlich organischer Transistoren, dem Entwurf von Mikrosystemen bis hin zur Herstellung von Sensoren und Aktoren auf der Basis anorganischer wie organischer Werkstoffe. Die personelle Verknüpfung mit dem FhG IPMS Dresden und der NaMLab gGmbH erweitern die Möglichkeiten in Forschung und Lehre beträchtlich.

Dienstleistungszentrum: Auftragsforschung , Herstellung von Appliationsmustern, Seminare, Beratungen

In Zusammenhang mit Silicon Saxony ist die Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik von besonderem Interesse. Sie verfügt über 12 Institute, die einen äußerst breiten Wissensbereich abdecken:
- Institut für Akustik und Sprachkommunikation (IAS)
- Institut für Automatisierungstechnik (IFA)
- Elektrotechnisches Institut (ETI)
- Institut für Elektrische Energieversorgung und Hochspannungstechnik (IEEH)
- Institut für Feinwerktechnik (IFWT)
- Institut für Elektronik-Technologie (IET)
- Institut für Biomedizinische Technik (IBMT)
- Institut für Grundlagen der Elektrotechnik/Elektronik (IEE)
- Institut für Nachrichtentechnik (IfN)
- Institut für Festkörperelektronik (IFE)
- Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
- Institut für Regelungs- und Steuerungstheorie (RST)

Geschäftsfelder: Halbleiter, Equipment, Elektronik
Kernkompetenz: Forschung und Bildung, Hochschule
Spezialisierung: Halbleitertechnik, Mikrosystemtechnik, Optoelektronische Bauelemente, Back End of Line Prozesse, Atomic Layer Deposition (ALD)
Schlagworte: Mikrosystemtechnologie, Optoelektronik

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