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Tel: 0351 2586 0 Fax: 0351 2586 105 info@fep.fraunhofer.de https://www.fep.fraunhofer.de/Ansprechpartner
Hagen BartzschNicolas Schiller
Angebot
Das Fraunhofer FEP bearbeitet innovative Themenstellungen auf den Arbeitsgebieten der Vakuumbeschichtung und der Oberflächenbearbeitung und -behandlung mit Elektronen und Plasmen. Grundlage dieser Arbeiten sind die Kernkompetenzen Elektronenstrahltechnologie, Puls-Magnetron-Sputtern und Plasma-aktivierte Hochratebedampfung. Ziel ist, das Innovationspotenzial der Elektronenstrahl- und Plasmatechnik für moderne Produktionsprozesse zu erschließen und mit Praxisreife für unsere Kunden nutzbar zu machen.
Beschichtung von Kunststofffolien mit hochwertigen Antireflex-, Antistatik- und Barriereschichten; Basistechnologie ist das Mittelfrequenz-Magnetronsputtern. Als Anlagentechnik steht eine Bandbeschichtungsanlage mit bis zu 6 Beschichtungsstationen und 600mm Bandbreite zur Verfügung. diese Anlage ist auch für die Pilotbeschichtung größerer Mengen einsetzbar.
Forschungsschwerpunkte:
- Entwicklung von Schlüsselkomponenten (z.B. Elektronenstrahl- und Sputterquellen)
- Vakuumbeschichtung und Elektronenstrahlbearbeitung von Bauteilen und Werkzeugen
- Beschichtung von Flachsubstraten, Kunststofffolien und Metallfolien auf großen Flächen (Korrosionsschutz- und Dekorationsschichten, Haftvermittelnde Schichten auf Metallen und Kunststoffen, Barriereschichten, Abrasionsschichten, Optische Schichten, Elektrische Funktionsschichten)
- Beschichtungstechnologien: Sputtertechnologie, plasmaaktivierte Hochratebedampfung, Hochrate-PECVD
- Oberflächenbearbeitung mittels Elektronenstrahl (Härten, Schweißen, Fügen, Mikrostrukturieren)
- Vorbehandlung (z.B. Plasmaätzen), Nachbehandlung
- Prozess- und Qualitätskontrolle
- Beratung bei der Bauteilreinigung
Geschäftsfelder: Halbleiter, Equipment, Elektronik, Umwelttechnologie, Medizin
Kernkompetenz: Forschung und Bildung, Institut
Spezialisierung: Ionenstrahltechnologie, Plasmatechnik, Sensorik, Materialcharakterisierung
Schlagworte: Materialforschung, Materialprüfung, Ionenstrahltechnologie, Plasmatechnik
• Großflächenbeschichtung von Elektroden für Batterien / Kondensatoren
• Hochrateabscheidung von Lithium-Verbindungen
• Barrierefolie für die Verkapselung
• Entwicklung von Solarkollektoren zur Beladung von Zeolithspeichern
• Untersuchungen zur Verbesserung der Langzeitstabilität von Zeolithen
VEMASinnovativ - Innovationsverbund Maschinenbau Sachsen - www.vemas-sachsen.de
OES - Organic Electronics Saxony - www.oes-net.de
Energy Saxony e.V. - www.energy-saxony.net
Silicon Saxony - Mikroelektronik - www.silicon-saxony.de